化学工学(反応工学・反応装置工学)・材料工学(半導体結晶材料)

分野:反応工学(輸送現象と化学反応)

   Reaction engineering (Transport phenomena and chemical reaction)

材料:シリコン結晶、炭化珪素結晶

   Silicon (Si) and silicon carbide (SiC)

対象:半導体結晶材料生産技術における化学反応プロセスと反応装置の解析・設計

   Chemical process and reactor design for semiconductor materials

実験:成膜、エッチング、洗浄、分子吸着脱離測定、流れの可視化観察、光加熱

   CVD, Etching, Wet cleaning, Adsorption, Flow visualization,

   Radiation heat

計算:熱流体計算、レイトレーシング

   Numerical calculation

   (Heat, flow and chemical reactions, Ray tracing)

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